Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Print Friendly

Laboratorium
Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Pomieszczenia czyste (cleanroom) klasy 1000 –100 wraz z narzędziami oraz infrastrukturą niezbędną do wytwarzania urządzeń w skali mikro i nano.

Laboratorium zajmuje się wykonywaniem komponentów i urządzeń, produkcją niskoseryjną, prowadzeniem prób oraz charakteryzacją na potrzeby uniwersytetów, przemysłu i szkolnictwa.

Wybór technologii,

projektowanie, przygotowanie prototypów, produkcja niskoseryjna

Osadzanie warstw

metalicznych i dielektrycznych

Litografia optyczna, nanoimprint

Wytrawianie i tworzenie struktur

(w skali nano oraz mikro)

Charakteryzacja

(SEM/FIB, pomiary profilowe)

Obróbka końcowa

(docieranie/polerowanie, połączenia drutowe)

Szczegółową ofertę usług laboratorium znajdziesz tutaj

LITOGRAFIA

  • SÜSS MicroTec – Układ centrowania maski MA8 z systemem nanoimprintu SMILE
  • Spincoater, Płytki grzewcze, piec do HDMS
  • Mikroskopy inspekcyjne LEICA

ŁĄCZENIE PODŁOŻY

  • SÜSS MicroTec SB8 – Układ do łączenia podłoży (wafer bonder)

WYTRAWIANIE

  • System wytrawiania parowego IDONUS HF
  • Systemy plazmowe SENTECH typu ICP/RIE

NAPAROWYWANIE/ROZPYLANIE WARSTW – PREVAC

CHEMICZNE OSADZANIE Z FAZY GAZOWEJ

  • SENTECH: Osadzanie warstw dwutlenku krzemu i azotku krzemu metodą ICP:PECVD

CHEMIA OGÓLNA

  • Mokre stoły laboratoryjne ARIAS do czyszczenia podłoży oraz wytrawiania mokrego
  • Mikroskop inspekcyjny LEICA

SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA (RTP)

CHARAKTERYZACJA I ANALIZA

  • Elipsometr optyczny
  • Profilometr stykowy BRUKER
  • Profilometr optyczny BRUKER

INNE

  • Bonder drutowy DELVOTEC
  • Narzędzie do docierania/polerowania Logitech

Kierownik laboratorium: dr inż. Katarzyna Komorowska (katarzyna.komorowska@eitplus.pl)

Absolwentka Wydziału Podstawowych Problemów Techniki (mgr inż.) oraz Wydziału Chemii (dr ) Politechniki Wrocławskiej. Staże podoktorskie odbyła w Szkole Wyższej w Cachan we Francji (Ecole Normale Superiere de Cachan, Francja) w Laboratorium Fotoniki Kwantowej i Molekularnej (2003-2006) oraz na Uniwersytecie w Gandawie w grupie fotonicznej (INTEC – Information Technology Deparment, Photonics Research Group). W WCB EIT+ pracuje na stanowisku kierownika laboratorium Struktur Półprzewodnikowych od 2012r.

zdjecie

Inżynier procesu: mgr Andrzej Miszczuk

Absolwent Wydziału Fizyki i Astronomii Uniwersytetu Wrocławskiego. Obecnie doktorant w Instytucie Fizyki Doświadczalnej. Współautor 5 publikacji. W WCB EIT+ na stanowisku inżyniera procesu pracuje od 2015r.

bartek

Inżynier procesu: dr inż. Bartosz Ditkowski

Absolwent Wydziału Chemicznego (mgr inż.) Politechniki Wrocławskiej o specjalności Biotechnologia Molekularna i Biokataliza. Następnie odbywał studium magisterskie na Wydziale Biotechnologii Uniwersytetu Wrocławskiego (2005-2007) o specjalności Biotechnologia Białek i Peptydów. Stopień doktora nauk biologicznych uzyskał w Instytucie Immunologii i Terapii Doświadczalnej PAN we Wrocławiu (2011). Podczas studiów doktoranckich przebywał na stażu badawczym na Uniwersytecie Anglii Wschodniej w Departamencie Nauk Biologicznych (UEA, Norwich, UK). Staż podoktorski odbył na Uniwersytecie Klinicznym im. Goethe we Frankfurcie/n. Menem w Niemczech (Centre for Molecular Medicine, Vascular Matrix Biology Department). We WCB EIT+ pracuje od 2014 r. początkowo w Departamencie Rozwoju Biznesu.

 

Byli członkowie laboratorium:

photo_2016-07-19_11-00-06

Inżynier procesu: mgr inż. Robert Buda

Ania Mosiądz

Pracownik Techniczny: mgr Anna Mosiądz

Projekt OPUS finansowany przez Narodowe Centrum Nauki pn. „Wytwarzanie i optymalizacja komponentów fotonicznych za pomocą wiązki elektronowej i jonowej poprzez polimeryzację cieczy jonowych”.

Prace z Heliosem Nanolab 660:

photo_2016-07-19_10-59-47

photo_2016-07-19_11-00-09

20160718_160501

Polerowanie próbek:

photo_2016-07-19_10-59-59 photo_2016-07-19_11-00-15

Nanoszenie warstw metalicznych:

photo_2016-07-19_11-00-02

photo_2016-07-19_11-00-18

Litografia optyczna:

photo_2016-07-19_10-59-30

  • Maska do litografii:

IMG_0698

Trawienie plazmowe:

20160719_112140

photo_2016-07-19_11-00-12

Obecnie do naszego Laboratorium poszukujemy Kandydata na stanowisko Specjalisty ds. Naukowych, który będzie wspomagał zespół badawczy zajmujący się badaniem efektu polimeryzacji cieczy jonowych w projekcie Narodowego Centrum Nauki „Wytwarzanie i optymalizacja komponentów fotonicznych za pomocą wiązki elektronowej i jonowej poprzez polimeryzację cieczy jonowych”.
Paweł Paszkowski

Opiekun Klienta

Paweł Paszkowski

tel: 727 663 380

pawel.paszkowski@eitplus.pl

Załączniki do pobrania

Plik Rozmiar pliku Data dodania
nanotechnologia_ofertananotechnologia_oferta 631 KB 10.02.2017

Autor: Agata Kołacz, Opublikowano: 02.02.2016
plusfontminusfontreloadfont