Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Print Friendly

Laboratorium
Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych

Pomieszczenia czyste (cleanroom) klasy 1000 –100 wraz z narzędziami oraz infrastrukturą niezbędną do wytwarzania urządzeń w skali mikro i nano.

Laboratorium zajmuje się wykonywaniem komponentów i urządzeń, produkcją niskoseryjną, prowadzeniem prób oraz charakteryzacją na potrzeby uniwersytetów, przemysłu i szkolnictwa.

Publikacje

Wybór technologii,

projektowanie, przygotowanie prototypów, produkcja niskoseryjna

Osadzanie warstw

metalicznych i dielektrycznych

Litografia optyczna, nanoimprint

Wytrawianie i tworzenie struktur

(w skali nano oraz mikro)

Charakteryzacja

(SEM/FIB, pomiary profilowe)

Obróbka końcowa

(docieranie/polerowanie, połączenia drutowe)

Szczegółową ofertę usług laboratorium znajdziesz tutaj

LITOGRAFIA

  • SÜSS MicroTec – Układ centrowania maski MA8 z systemem nanoimprintu SMILE
  • Spincoater, Płytki grzewcze, piec do HDMS
  • Mikroskopy inspekcyjne LEICA

ŁĄCZENIE PODŁOŻY

  • SÜSS MicroTec SB8 – Układ do łączenia podłoży (wafer bonder)

WYTRAWIANIE

  • System wytrawiania parowego IDONUS HF
  • Systemy plazmowe SENTECH typu ICP/RIE

NAPAROWYWANIE/ROZPYLANIE WARSTW – PREVAC

CHEMICZNE OSADZANIE Z FAZY GAZOWEJ

  • SENTECH: Osadzanie warstw dwutlenku krzemu i azotku krzemu metodą ICP:PECVD

CHEMIA OGÓLNA

  • Mokre stoły laboratoryjne ARIAS do czyszczenia podłoży oraz wytrawiania mokrego
  • Mikroskop inspekcyjny LEICA

SZYBKA OBRÓBKA TERMICZNA (RTP)

CHARAKTERYZACJA I ANALIZA

  • Elipsometr optyczny
  • Profilometr stykowy BRUKER
  • Profilometr optyczny BRUKER

INNE

  • Bonder drutowy DELVOTEC
  • Narzędzie do docierania/polerowania Logitech

Kierownik laboratorium: dr inż. Katarzyna Komorowska (katarzyna.komorowska@eitplus.pl)

Absolwentka Wydziału Podstawowych Problemów Techniki (mgr inż.) oraz Wydziału Chemii (dr ) Politechniki Wrocławskiej. Staże podoktorskie odbyła w Szkole Wyższej w Cachan we Francji (Ecole Normale Superiere de Cachan, Francja) w Laboratorium Fotoniki Kwantowej i Molekularnej (2003-2006) oraz na Uniwersytecie w Gandawie w grupie fotonicznej (INTEC – Information Technology Deparment, Photonics Research Group). W WCB EIT+ pracuje na stanowisku kierownika laboratorium Struktur Półprzewodnikowych od 2012r.

zdjecie

Inżynier procesu: mgr Andrzej Miszczuk

Absolwent Wydziału Fizyki i Astronomii Uniwersytetu Wrocławskiego. Obecnie doktorant w Instytucie Fizyki Doświadczalnej. Współautor 5 publikacji. W WCB EIT+ na stanowisku inżyniera procesu pracuje od 2015r.

 

Specjalista do spraw naukowych: dr inż. Krzysztof Rola

Absolwent Wydziału Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej (mgr inż.), gdzie w 2015 r. uzyskał stopień doktora w dyscyplinie naukowej Elektronika. W latach 2015-2017 pracował w Instytucie Niskich Temperatur i Badań Strukturalnych PAN na stanowisku specjalisty ds. mikroskopii elektronowej. Obecnie pracuje w WCB EIT+ na stanowisku specjalisty ds. naukowych.

Pracownik techniczny: Aleksander Szymczak

______________________________________________________

Byli członkowie laboratorium:

bartek

Inżynier procesu: dr inż. Bartosz Ditkowski

photo_2016-07-19_11-00-06

Inżynier procesu: mgr inż. Robert Buda

Ania Mosiądz

Pracownik Techniczny: mgr Anna Mosiądz

Projekt OPUS finansowany przez Narodowe Centrum Nauki pt. „Wytwarzanie i optymalizacja komponentów fotonicznych za pomocą wiązki elektronowej i jonowej poprzez polimeryzację cieczy jonowych”.

Prace z Heliosem Nanolab 660:

photo_2016-07-19_10-59-47

photo_2016-07-19_11-00-09

20160718_160501

Polerowanie próbek:

photo_2016-07-19_10-59-59 photo_2016-07-19_11-00-15

Nanoszenie warstw metalicznych:

photo_2016-07-19_11-00-02

photo_2016-07-19_11-00-18

Litografia optyczna:

photo_2016-07-19_10-59-30

  • Maska do litografii:

IMG_0698

Trawienie plazmowe:

20160719_112140

photo_2016-07-19_11-00-12

  1. Siudzińska, A.Miszczuk, J.Marczak, K.Komorowska, Fluorescent sensing with Fresnel microlenses for optofluidic systems, accepted in Optical Engineering (2017).
  2. Czajkowski, J. Klajn, J. Cybińska, J. Feder-Kubis and K. Komorowska, Cholesteric gratings induced by electric field in mixtures of liquid crystal and novel chiral ionic liquid, Liquid Crystals (2016), DOI. 10.1080/02678292.2016.1254825.
  3. Słupski, M.Nikodem, L.Chai, K.Komorowska; Fabrication of multilevel resist patterns by using a liquid crystal mask, Opt. Eng. 0001;54(11):115107, 2015
  4. Czajkowski, J. Cybińska, M. Woźniak, P. Słupski, M. Nikodem, F. Granek, K. Komorowska, Incorporation of luminescent semiconductor nanoparticles into liquid crystal matrix, Journal of Luminescence, Volume 169, Part B, Pages 850-856, 2016
  5. Nikodem, K. Krzempek, K. Zygadlo, G. Dudzik, A. Waz, K. Abramski, K. Komorowska Intracavity polarization control in mode-locked Er-doped fibre lasers using liquid crystals, Opto-Electronics Review, 22, 113-117, 2014.
  6. Komorowska; K. Zygadlo; B. Cichy; M.l Nikodem, Investigation of liquid crystal materials doped with quantum dots: properties and potential applications, SPIE 8982, Optical Components and Materials XI, 89820A, 2014.
Paweł Paszkowski

Opiekun Klienta

Paweł Paszkowski

tel: 727 663 380

pawel.paszkowski@eitplus.pl

Załączniki do pobrania

Plik Rozmiar pliku Data dodania
nanotechnologia_ofertananotechnologia_oferta 631 KB 10.02.2017

Autor: Agata Kołacz, Opublikowano: 02.02.2016
plusfontminusfontreloadfont